Охороні навколишнього середовища приділяється все більше уваги, особливо із збільшенням серпанкової погоди.Інженерія чистих приміщень є одним із заходів захисту навколишнього середовища.Як використовувати техніку чистих приміщень для ефективної роботи з охорони навколишнього середовища?Поговоримо про контроль в техніці чистих приміщень.
Контроль температури і вологості в чистому приміщенні
Температура та вологість чистих приміщень в основному визначаються на основі вимог процесу, але при дотриманні вимог процесу слід брати до уваги комфорт людини.З підвищенням вимог до чистоти повітря спостерігається тенденція посилення вимог до температури і вологості в процесі виробництва.
Як загальний принцип, через підвищення точності обробки, вимоги до діапазону коливань температури стають все меншими і меншими.Наприклад, у процесі літографії та експонування великомасштабного виробництва інтегральних схем різниця в коефіцієнті теплового розширення між скляними та кремнієвими пластинами, які використовуються як матеріали маски, стає дедалі меншою.
Кремнієва пластина діаметром 100 мкм викликає лінійне розширення 0,24 мкм при підвищенні температури на 1 градус.Тому необхідна постійна температура ± 0,1 ℃, а значення вологості, як правило, низьке, оскільки після потовиділення продукт буде забруднений, особливо в напівпровідникових майстернях, які бояться натрію.Цей тип майстерні не повинен перевищувати 25 ℃.
Більше проблем викликає надмірна вологість.Коли відносна вологість перевищує 55%, на стінці труби охолоджувальної води утворюється конденсат.Якщо це відбувається в точних пристроях або схемах, це може спричинити різні нещасні випадки.При відносній вологості 50% легко іржавіє.Крім того, коли вологість занадто висока, пил, що прилипає до поверхні кремнієвої пластини, буде хімічно адсорбуватися на поверхні через молекули води в повітрі, які важко видалити.
Чим вище відносна вологість, тим важче видалити налипання.Однак, коли відносна вологість нижче 30%, частинки також легко адсорбуються на поверхні через дію електростатичної сили, і велика кількість напівпровідникових приладів схильна до поломки.Оптимальний діапазон температур для виробництва кремнієвих пластин становить 35-45%.
Повітряний тискКОНТРОЛЬв чистій кімнаті
Для більшості чистих приміщень, щоб запобігти проникненню зовнішнього забруднення, необхідно підтримувати внутрішній тиск (статичний тиск) вищим, ніж зовнішній тиск (статичний тиск).Підтримка різниці тиску, як правило, повинна відповідати наступним принципам:
1. Тиск у чистих приміщеннях має бути вищим, ніж у нечистих приміщеннях.
2. Тиск у приміщеннях з високим рівнем чистоти має бути вищим, ніж у прилеглих приміщеннях із низьким рівнем чистоти.
3. Двері між чистими кімнатами повинні відкриватися в бік приміщень з високим рівнем чистоти.
Підтримання різниці тисків залежить від кількості свіжого повітря, яке має бути в змозі компенсувати витік повітря із зазору при цій різниці тисків.Таким чином, фізичне значення різниці тисків - це опір витоку (або проникненню) потоку повітря через різні зазори в чистому приміщенні.
Час публікації: 21 липня 2023 р