Захист навколишнього середовища приділяє все більше уваги, особливо зі збільшенням погоди серпанку. Чиста інженерія кімнат - один із заходів із захисту навколишнього середовища. Як використовувати чисту інженерну кімнату, щоб зробити хорошу роботу в охороні навколишнього середовища? Давайте поговоримо про управління в чистому приміщенні.
Контроль температури та вологості в чистому приміщенні
Температура та вологість чистих просторів визначаються в основному на основі вимог до процесу, але при виконанні вимог до процесу виконання людського комфорту слід враховувати. З вдосконаленням вимог до чистоти повітря спостерігається тенденція більш жорстких вимог до температури та вологості в процесі.
Як загальний принцип, через зростаючу точність обробки вимоги до діапазону коливань температури стають все меншими. Наприклад, у процесі літографії та експозиції масштабного виробництва інтегрованих ланцюгів різниця в коефіцієнті теплового розширення між скляними та кремнієвими вафлями, що використовуються в якості матеріалів маски, стає все більш невеликою.
Силіконова пластина діаметром 100 мкм викликає лінійне розширення 0,24 мкм, коли температура піднімається на 1 градус. Тому необхідна постійна температура ± 0,1 ℃, а значення вологості, як правило, низьке, оскільки після поті, продукт буде забруднений, особливо на напівпровідникових майстернях, які бояться натрію. Цей тип семінару не повинен перевищувати 25 ℃.
Надмірна вологість викликає більше проблем. Коли відносна вологість перевищує 55%, конденсація утворюватиметься на стінці водопровідної труби. Якщо це відбувається в точних пристроях або схемах, це може спричинити різні ДТП. Коли відносна вологість становить 50%, її легко іржавувати. Крім того, коли вологість занадто висока, пил, що дотримується поверхні кремнієвої пластини, буде хімічно адсорбований на поверхні через молекули води у повітрі, що важко видалити.
Чим вище відносна вологість, тим важче - видалити адгезію. Однак, коли відносна вологість нижче 30%, частинки також легко адсорбуються на поверхні через дію електростатичної сили, і велика кількість напівпровідникових пристроїв схильна до поломки. Оптимальний діапазон температур для виробництва вафельних вафель становить 35-45%.
ТискКОНТРОЛЬв чистому приміщенні
Для більшості чистих просторів, щоб запобігти вторгненню зовнішнього забруднення, необхідно підтримувати внутрішній тиск (статичний тиск) вище, ніж зовнішній тиск (статичний тиск). Підтримка різниці тиску, як правило, повинна відповідати наступним принципам:
1. Тиск у чистих просторах повинен бути вище, ніж у не чистих просторах.
2. Тиск у просторах з високим рівнем чистоти повинен бути вищим, ніж у сусідніх просторах з низьким рівнем чистоти.
3. Двері між чистими приміщеннями слід відкрити до кімнат з високим рівнем чистоти.
Підтримка різниці тиску залежить від кількості свіжого повітря, яке повинно мати можливість компенсувати витік повітря з розриву при цій різниці тиску. Таким чином, фізичне значення різниці тиску - це опір витоку (або інфільтрації) потоку повітря через різні зазори в чистому приміщенні.
Час повідомлення: липень-21-2023