Охороні навколишнього середовища приділяється все більше уваги, особливо зі збільшенням кількості серпанку. Інженерія чистих приміщень є одним із заходів захисту навколишнього середовища. Як використовувати інженерію чистих приміщень для ефективного захисту навколишнього середовища? Давайте поговоримо про контроль у інженерії чистих приміщень.
Контроль температури та вологості в чистій кімнаті
Температура та вологість чистих приміщень визначаються переважно на основі вимог процесу, але під час виконання вимог процесу слід враховувати комфорт людини. З покращенням вимог до чистоти повітря спостерігається тенденція до жорсткіших вимог до температури та вологості в процесі.
Як правило, через зростання точності обробки вимоги до діапазону коливань температури стають все меншими. Наприклад, у процесі літографії та експонування у великомасштабному виробництві інтегральних схем різниця в коефіцієнті теплового розширення між скляними та кремнієвими пластинами, що використовуються як матеріали для масок, стає все меншою.
Кремнієва пластина діаметром 100 мкм викликає лінійне розширення 0,24 мкм при підвищенні температури на 1 градус. Тому необхідна постійна температура ± 0,1 ℃, а значення вологості, як правило, низьке, оскільки після випотіння виріб забруднюється, особливо в напівпровідникових майстернях, які бояться натрію. У таких майстернях температура не повинна перевищувати 25 ℃.
Надмірна вологість спричиняє більше проблем. Коли відносна вологість перевищує 55%, на стінці труби охолоджувальної води утворюється конденсат. Якщо це відбувається в точних пристроях або схемах, це може спричинити різні аварії. Коли відносна вологість становить 50%, легко іржавіє. Крім того, коли вологість занадто висока, пил, що прилипає до поверхні кремнієвої пластини, хімічно адсорбується на її поверхні через молекули води в повітрі, які важко видалити.
Чим вища відносна вологість, тим важче видалити адгезію. Однак, коли відносна вологість нижче 30%, частинки також легко адсорбуються на поверхні через дію електростатичної сили, і велика кількість напівпровідникових приладів схильна до поломки. Оптимальний температурний діапазон для виробництва кремнієвих пластин становить 35-45%.
Тиск повітряКОНТРОЛЬу чистій кімнаті
У більшості чистих приміщень, щоб запобігти проникненню зовнішнього забруднення, необхідно підтримувати внутрішній тиск (статичний тиск) вищим за зовнішній тиск (статичний тиск). Підтримка різниці тисків, як правило, повинна відповідати таким принципам:
1. Тиск у чистих приміщеннях має бути вищим, ніж у нечистих приміщеннях.
2. Тиск у приміщеннях з високим рівнем чистоти повинен бути вищим, ніж у сусідніх приміщеннях з низьким рівнем чистоти.
3. Двері між чистими кімнатами повинні відчинятися в бік кімнат з високим рівнем чистоти.
Підтримка різниці тисків залежить від кількості свіжого повітря, яке повинно компенсувати витік повітря із зазору під дією цієї різниці тисків. Отже, фізичний зміст різниці тисків полягає в опорі витоку (або інфільтрації) повітряного потоку через різні зазори в чистому приміщенні.
Час публікації: 21 липня 2023 р.