- Загальні принципи проектування
Функціональне зонування
Чисте приміщення слід розділити на чисту зону, квазічисту зону та допоміжну зону, а функціональні зони повинні бути незалежними та фізично ізольованими.
Процес повинен відповідати принципу односпрямованого потоку, щоб уникнути перехресного забруднення між персоналом та матеріалами.
Зона очищення центру повинна розташовуватися в центрі будівлі або з навітряного боку, щоб зменшити зовнішні перешкоди.
Організація повітряного потоку
Чиста кімната з односпрямованим потоком: використання вертикального ламінарного потоку або горизонтального ламінарного потоку зі швидкістю повітряного потоку 0,3~0,5 м/с, підходить для сценаріїв з високими вимогами до чистоти, таких як напівпровідникова промисловість та біомедицина.
Чиста кімната з неодноспрямованим потоком: підтримує чистоту завдяки ефективній фільтрації та розрідженню, зі швидкістю вентиляції 15~60 разів на годину, підходить для умов низької та середньої чистоти, таких як харчова та косметична промисловість.
Чиста кімната зі змішаним потоком: в основній зоні потік однонаправлений, тоді як у навколишніх зонах потік неоднонаправлений, що забезпечує баланс між витратами та ефективністю.
Контроль диференціального тиску
Різниця тиску між чистою зоною та нечистою зоною становить ≥5 Па, а різниця тиску між чистою зоною та зовнішньою зоною становить ≥10 Па.
Градієнт тиску між сусідніми чистими зонами повинен бути прийнятним, а тиск у зонах з високим рівнем чистоти повинен бути вищим, ніж у зонах з низьким рівнем чистоти.
- Вимоги до розробки галузевої класифікації
(1). Чисті приміщення в напівпровідниковій промисловості
Клас чистоти
Основна зона процесу (така як фотолітографія та травлення) повинна відповідати стандарту ISO 14644-1 рівня 1 або 10, з концентрацією частинок ≤ 3520 частинок/м3 (0,5 мкм), а чистота допоміжної зони може бути знижена до ISO 7 або 8.
Контроль температури та вологості
Температура 22±1℃, відносна вологість 40%~60%, використання системи кондиціонування повітря з постійною температурою та вологістю.
Антистатичний дизайн
Ґрунт використовує струмопровідне епоксидне покриття або антистатичне ПВХ-покриття з опором ≤ 1*10^6Ω.
Персонал повинен носити антистатичний одяг та бахіли, а опір заземлення обладнання має бути ≤12 Ом.
Приклад макета
Основна технологічна зона розташована в центрі будівлі, оточена приміщеннями для обладнання та випробувальними кімнатами. Матеріали надходять через шлюзові отвори, а персонал — через повітряний душ.
Вихлопна система налаштована незалежно, а вихлопні гази фільтруються HEPA-фільтром перед викидом.
(2). Чиста кімната в біофармацевтичній промисловості
Клас чистоти
Зона розливу стерильної підготовки повинна відповідати класу A (ISO 5) та класу 100 на місцевому рівні; зони культивування клітин та бактеріальних операцій повинні відповідати класу B (ISO 6), тоді як допоміжні зони (такі як стерилізаційна кімната та зберігання матеріалів) повинні відповідати рівню C (ISO 7) або рівню D (ISO 8).
Вимоги біобезпеки
Експерименти з високопатогенними мікроорганізмами повинні проводитися в лабораторіях BSL-2 або BSL-3, обладнаних середовищем з негативним тиском, подвійним блокуванням дверей та аварійною спринклерною системою.
Кімната для стерилізації повинна використовувати вогнестійкі та стійкі до високих температур матеріали, а також бути обладнана паровими стерилизаторами або обладнанням для дезінфекції розпиленням перекису водню.
Приклад макета
Бактеріальна кімната та кімната з клітинами розташовані незалежно та фізично ізольовані від чистої зони розливу. Матеріал надходить через пропускний короб, а персонал – через роздягальню та буферну кімнату; система витяжки оснащена HEPA-фільтром та пристроєм адсорбції активованим вугіллям.
(3). Чисті приміщення в харчовій промисловості
Клас чистоти
Кімната для пакування харчових продуктів повинна відповідати класу 100000 (ISO 8) з концентрацією частинок ≤ 3,52 млн/м3 (0,5 мкм).
Приміщення для переробки сировини та пакування неготових до вживання харчових продуктів повинно відповідати класу 300000 (ISO 9).
Контроль температури та вологості
Діапазон температур 18-26℃, відносна вологість ≤75%, щоб запобігти росту мікроорганізмів у конденсованій воді.
Приклад макета
Зона очищення (наприклад, внутрішня пакувальна кімната) розташована з навітряного боку, тоді як зона квазіочищення (наприклад, обробка сировини) розташована з навітряного боку;
Матеріали потрапляють через буферну кімнату, а персонал – через роздягальню та зону миття та дезінфекції рук. Витяжна система оснащена первинним та середнім фільтрами, а фільтрувальна сітка регулярно замінюється.
(4). Чиста кімната в косметичній промисловості
Клас чистоти
Кімната для емульгування та розливу повинна відповідати класу 100000 (ISO 8), а кімната для зберігання та пакування сировини повинна відповідати класу 300000 (ISO 9).
Вибір матеріалу
Стіни покриті антипліснявою фарбою або сендвіч-панелями, підлоги самовирівнюються епоксидною смолою, а стики герметизовані. Освітлювальні прилади герметизовані чистими лампами, щоб запобігти накопиченню пилу.
Приклад макета
Кімната емульгування та кімната розливу розташовані незалежно одна від одної та оснащені локальним чистим столом класу 100; матеріали надходять через пропускну коробку, а персонал – через роздягальню та повітряний душ; система витяжки оснащена пристроєм адсорбції активованим вугіллям для видалення летких органічних сполук.
- Загальні технічні параметри
Контроль шуму: шум у чистій кімнаті ≤65 дБ(A), використання малошумного вентилятора та глушника.
Дизайн освітлення: середня освітленість > 500 лк, рівномірність > 0,7, використання безтіньової лампи або світлодіодної лампи з функцією очищення.
Об'єм свіжого повітря: Якщо об'єм свіжого повітря на людину за годину перевищує 40 м³, потрібна компенсація витяжних газів та підтримка позитивного тиску.
HEPA-фільтри замінюються кожні 6-12 місяців, первинні та середні фільтри очищуються щомісяця, підлоги та стіни очищуються та дезінфікуються щотижня, поверхні обладнання протираються щодня, регулярно виявляються бактерії, що осідають у повітрі, та зважені частинки, а також ведеться облік.
- Безпека та проектування в надзвичайних ситуаціях
Безпечна евакуація: Кожна чиста зона на кожному поверсі повинна мати щонайменше 2 аварійні виходи, а напрямок відкриття евакуаційних дверей повинен відповідати напрямку евакуації. У душовій кімнаті необхідно встановити обхідні двері, якщо в ній перебуває більше 5 осіб.
Пожежні засоби: У чистій зоні використовується система газового пожежогасіння (наприклад, гептафторпропан), щоб запобігти пошкодженню обладнання водою. Обладнана аварійним освітленням та знаками евакуації, з безперервним живленням понад 30 хвилин.
Реагування на надзвичайні ситуації: Лабораторія біобезпеки обладнана шляхами евакуації в надзвичайних ситуаціях та станціями для промивання очей. Зона зберігання хімікатів обладнана герметичними лотками та абсорбуючими матеріалами.
Час публікації: 29 вересня 2025 р.