На додаток до суворого контролю частинок, електронні чисті кімнати, представлені цехами з виробництва мікросхем, цехами без пилу інтегральних схем і цехами з виробництва дисків, також мають суворіші вимоги до контролю температури та вологості, освітлення та мікрошоку.Строго усуньте вплив статичної електрики на виробничі продукти, щоб навколишнє середовище відповідало вимогам виробничого процесу електронних продуктів у чистому середовищі.
Температуру та вологість електронної чистої кімнати слід визначати відповідно до вимог виробничого процесу.Коли немає особливих вимог до виробничого процесу, температура може становити 20-26°C, а відносна вологість 30%-70%.Температура чистої кімнати для персоналу та житлової кімнати може бути 16-28 ℃.Відповідно до китайського національного стандарту GB-50073, який відповідає міжнародним стандартам ISO, рівень чистоти цього типу чистих приміщень становить 1-9.Серед них, клас 1-5, схема повітряного потоку є односпрямованим або змішаним потоком;6-й клас – схема потоку повітря неоднонаправлена, зміна повітря становить 50-60 разів/год;клас 7 тип повітряного потоку – неодноспрямований потік, повітрообмін 15-25 раз/год;клас 8-9 тип потоку повітря неодноспрямований, повітрообмін 10-15 раз/год.
Згідно з поточними специфікаціями, рівень шуму в електронному чистому приміщенні класу 10 000 не повинен перевищувати 65 дБ(A).
1. Повний коефіцієнт вертикального потоку чистої кімнати в електронній чистій кімнаті не повинен бути меншим за 60%, а горизонтальний односпрямований потік чистої кімнати не повинен бути меншим за 40%, інакше це буде частковий односпрямований потік.
2. Різниця статичного тиску між електронною чистою кімнатою та на відкритому повітрі не повинна бути менше 10 Па, а різниця статичного тиску між чистими та нечистими зонами з різною чистотою повітря не повинна бути менше 5 Па.
3. Кількість свіжого повітря в електронній чистій кімнаті класу 10000 має приймати значення наступних двох елементів.
4. Компенсуйте суму внутрішнього об’єму витяжного повітря та об’єму свіжого повітря, необхідних для підтримки позитивного тиску в приміщенні.
5. Забезпечити кількість свіжого повітря, що подається в чисте приміщення на одну людину за годину, не менше 40 кв.
Час публікації: 08 квітня 2024 р