На додаток до суворого контролю частинок, електронні чисті кімнати, представлені цехами з виробництва мікросхем, цехами без пилу інтегральних схем і цехами з виробництва дисків, також мають суворіші вимоги до контролю температури та вологості, освітлення та мікрошоку. Строго усуньте вплив статичної електрики на виробничі продукти, щоб навколишнє середовище відповідало вимогам виробничого процесу електронних продуктів у чистому середовищі.
Температуру та вологість електронної чистої кімнати слід визначати відповідно до вимог виробничого процесу. Коли немає особливих вимог до виробничого процесу, температура може становити 20-26°C, а відносна вологість 30%-70%. Температура чистої кімнати для персоналу та житлової кімнати може бути 16-28 ℃. Відповідно до китайського національного стандарту GB-50073, який відповідає міжнародним стандартам ISO, рівень чистоти цього типу чистих приміщень становить 1-9. Серед них, клас 1-5, схема повітряного потоку є односпрямованим або змішаним потоком; 6-й клас: потік повітря не односпрямований, зміна повітря 50-60 разів/год; клас 7 тип повітряного потоку – неодноспрямований потік, повітрообмін 15-25 раз/год; клас 8-9 тип потоку повітря неодноспрямований, повітрообмін 10-15 раз/год.
Згідно з поточними специфікаціями, рівень шуму в електронному чистому приміщенні класу 10 000 не повинен перевищувати 65 дБ(A).
1. Повний коефіцієнт вертикального потоку чистої кімнати в електронній чистій кімнаті не повинен бути меншим за 60%, а горизонтальний односпрямований потік чистої кімнати не повинен бути меншим за 40%, інакше це буде частковий односпрямований потік.
2. Різниця статичного тиску між електронною чистою кімнатою та на відкритому повітрі не повинна бути менше 10 Па, а різниця статичного тиску між чистими та нечистими зонами з різною чистотою повітря не повинна бути менше 5 Па.
3. Кількість свіжого повітря в електронній чистій кімнаті класу 10000 має приймати значення наступних двох елементів.
4. Компенсуйте суму внутрішнього об’єму витяжного повітря та об’єму свіжого повітря, необхідні для підтримки позитивного тиску в приміщенні.
5. Забезпечити кількість свіжого повітря, що подається в чисте приміщення на одну людину за годину, не менше 40 кв.
Час публікації: 08 квітня 2024 р