Вихід мікросхем у виробничій промисловості чіпів тісно пов'язаний з розміром та кількістю частинок повітря, що осідає на мікросхемі. Хороша організація потоку повітря може забрати частинки, що утворюються з джерел пилу подалі від чистої кімнати та забезпечити чистоту чистої кімнати. Тобто організація повітряного потоку в чистій кімнаті відіграє життєво важливу роль у врожайності виробництва мікросхем. Цілі, які слід досягти в розробці організації чистого приміщення Потік повітря, - це: зменшити або усунути вихрові струми в поле потоку, щоб уникнути утримання шкідливих частинок; Для збереження відповідного градієнта позитивного тиску для запобігання перехрестя.
Відповідно до принципу чистого приміщення, сили, що діють на частинки, включають силу маси, молекулярну силу, притяг між частинками, силою потоку повітря тощо.
Сила повітряного потоку: відноситься до сили повітряного потоку, спричиненого потоком подачі та повернення повітря, теплового повітряного потоку, штучним перемішуванням та іншими авіаположеннями з певною швидкістю потоку для перенесення частинок. Для контролю екологічних технологій чистого приміщення сили потоку повітря є найважливішим фактором.
Експерименти показали, що при русі повітряного потоку частинки слідують за потоком повітря майже з однаковою швидкістю. Стан частинок у повітрі визначається розподілом повітряного потоку. Основні ефекти повітряного потоку на внутрішні частинки включають: повітряний потік подачі повітря (включаючи первинний повітряний потік та вторинний повітряний потік), повітряний потік та тепловий повітряний потік, спричинений людьми, що ходять, та вплив повітряного потоку на частинки, спричинені технологічними операціями та промисловим обладнанням. Різні методи подачі повітря, інтерфейси швидкості, оператори та промислове обладнання, індуковані явища тощо в чистій кімнаті - це всі фактори, що впливають на рівень чистоти.
1. Вплив методу подачі повітря
(1) Швидкість подачі повітря
Для того, щоб забезпечити рівномірний потік повітря, швидкість подачі повітря в однонаправленому чистому приміщенні потоку повинна бути рівномірною; Мертва зона на поверхні подачі повітря повинна бути невеликою; а падіння тиску всередині фільтра HEPA також повинно бути рівномірним.
Швидкість подачі повітря рівномірна: тобто нерівномірність потоку повітря контролюється в межах ± 20%.
На поверхні подачі повітря є менше мертвого простору: не тільки площина площини рами HEPA буде зменшуватися, але що ще важливіше, для спрощення надмірної рами слід використовувати модульну FFU.
Для того, щоб переконатися, що потік повітря є вертикальним та однонаправленим, вибір падіння тиску також є дуже важливим, і потрібно, щоб втрата тиску всередині фільтра не була упереджена.
(2) Порівняння між системою FFU та вентиляторами осьового потоку
FFU - це блок подачі повітря з фільтром вентилятора та HEPA. Повітря всмоктується відцентровим вентилятором FFU і перетворює динамічний тиск у статичний тиск у повітряному каналі. Його рівномірно вибухає фільтром HEPA. Тиск подачі повітря на стелю - це негативний тиск. Таким чином, при заміні фільтра жоден пил не просочиться в чисту кімнату. Експерименти показали, що система FFU перевершує систему вентиляторів осьового потоку з точки зору рівномірності повітряного випуску, паралелізм та показник ефективності вентиляції. Це тому, що паралелізм повітряного потоку системи FFU краще. Використання системи FFU може покращити організацію потоку повітря в чистому приміщенні.
(3) Вплив власної структури FFU
FFU в основному складається з вентиляторів, фільтрів, путівників повітря та інших компонентів. Фільтр HEPA є найважливішою гарантією для чистого приміщення для досягнення необхідної чистоти, необхідної для дизайну. Матеріал фільтра також вплине на рівномірність поля потоку. Коли до виходу фільтра додається шорсткий матеріал фільтру або проточну пластину, поле потоку випускного отвору може бути легко зроблене рівномірним.
2. Вплив інтерфейсу швидкості з різною чистотою
У тому ж чистому приміщенні, між робочою зоною та неробочою зоною з вертикальним однонаправленим потоком, через різницю швидкості повітря на коробці HEPA, на інтерфейсі відбудеться змішаний вихровий ефект, і цей інтерфейс стане турбулентним Зона повітряного потоку. Інтенсивність повітряної турбулентності особливо сильна, а частинки можуть передаватися на поверхню машини обладнання та забруднити обладнання та вафлі.
3. Вплив на персонал та обладнання
Коли чиста кімната порожня, характеристики потоку повітря в кімнаті, як правило, відповідають вимогам дизайну. Після того, як обладнання потрапляє в чисту кімнату, люди переїжджають, а продукти транспортуються, неминуче перешкоджає організації повітряного потоку, таких як різкі точки, що виступають з машини обладнання. На кутах або краях газ буде відволікатись, утворюючи турбулентну площу потоку, а рідина в цій області не буде легко захоплена вхідним газом, тим самим спричиняючи забруднення.
У той же час поверхня механічного обладнання буде нагріватися через безперервну роботу, а температурний градієнт спричинить область відновлення поблизу машини, що збільшує накопичення частинок у зоні відновлення. У той же час, висока температура легко призведе до виходу частинок. Подвійний ефект посилює загальний вертикальний шар. Складність контролю чистоти потоку. Пил від операторів у чистому приміщенні може легко дотримуватися вафель у цих областях.
4. Вплив повернення повітряного підлоги
Коли опір зворотного повітря, що проходить через підлогу, відрізняється, різниця тиску відбуватиметься, внаслідок чого повітря протікає в напрямку невеликого опору, і рівномірний потік повітря не буде отримано. Поточний популярний метод проектування - використовувати піднесену підлогу. Коли коефіцієнт відкриття підвищеної підлоги становить 10%, швидкість потоку повітря може бути рівномірно розподілена на висоті робочої роботи в приміщенні. Крім того, слід приділяти сувору увагу на прибирання, щоб зменшити джерело забруднення на підлозі.
5. Індукційне явище
Так зване індукційне явище відноситься до явища генерування потоку повітря у зворотному напрямку до рівномірного потоку, індукуючи пил, що утворюється в кімнаті або пилу в сусідніх забруднених ділянках до сторони вітру, тим самим змушуючи пил забруднювати вафлі. Можливі індуковані явища включають наступне:
(1) сліпа тарілка
У чистому приміщенні з вертикальним одностороннім потоком, через стики на стіні, зазвичай є великі сліпі панелі, які спричинить турбулентний потік та локальний зворотний потік.
(2) світильники
Світлові світильники в чистому приміщенні матимуть більший вплив. Оскільки тепло флуоресцентної лампи призводить до зростання потоку повітря, флуоресцентна лампа не стане турбулентною областю. Як правило, світильники в чистому приміщенні розроблені у формі сльози, щоб зменшити вплив світильників на організацію повітряного потоку.
(3) Прогалини між стінами
Коли між стінами або стелями є прогалини з різними вимогами до чистоти, пил з областей з низькою чистотою може бути перенесена в сусідні ділянки з високими вимогами до чистоти.
(4) Відстань між механічним обладнанням та підлогою або стіною
Якщо зазор між механічним обладнанням і підлогою або стіною невеликий, відбудеться відскокова турбулентність. Тому залиште проміжок між обладнанням та стіною та підніміть машинну платформу, щоб уникнути прямого контакту з землею.
Час посади: листопад-02-2023