Коефіцієнт виходу мікросхем у виробничій галузі ІС тісно пов'язаний з розміром та кількістю частинок повітря, що наносяться на мікросхему. Хороша організація повітряного потоку може забрати частинки, що утворюються джерелом пилу від чистої кімнати, щоб забезпечити чистоту чистого приміщення, тобто організація повітряного потоку в чистому приміщенні відіграє життєво важливу роль у випускній швидкості виробництва ІС. Конструкція організації повітряного потоку в чистому приміщенні потребує досягнення таких цілей: зменшити або усунути вихровий струм у полі потоку, щоб уникнути утримання шкідливих частинок; Підтримуйте відповідний градієнт позитивного тиску для запобігання перехресного забруднення.
Сила повітряного потоку
Відповідно до принципу чистого приміщення, сили, що діють на частинки, включають силу маси, молекулярну силу, притяг між частинками, силою повітряного потоку тощо.
Сила повітряного потоку: відноситься до сили повітряного потоку, спричиненого доставкою, поверненням повітряного потоку, потоком теплового конвекції, штучним перемішуванням та іншими авіаположеннями з певною швидкістю потоку для перенесення частинок. Для технічного контролю за чистим приміщенням сили повітряного потоку є найважливішим фактором.
Експерименти показали, що при русі повітряного потоку частинки слідують за рухом повітряного потоку майже з однаковою швидкістю. Стан частинок у повітрі визначається розподілом повітряного потоку. Арафлови, які впливають на внутрішні частинки, в основному включають: повітряний потік повітря (включаючи первинний потік повітря та вторинний повітряний потік), повітряний потік та тепловий повітряний потік, спричинений людьми, що ходять, та повітряний потік, спричинений роботою та промисловим обладнанням. Різні методи подачі повітря, інтерфейси швидкості, оператори та промислове обладнання та індуковані явища в чистих приміщеннях - це фактори, що впливають на рівень чистоти.
Фактори, що впливають на організацію повітряного потоку
1. Вплив методу подачі повітря
(1). Швидкість подачі повітря
Для забезпечення рівномірного потоку повітря швидкість подачі повітря повинна бути рівномірною в однонаправленому чистому приміщенні; Мертва зона поверхні подачі повітря повинна бути невеликою; а падіння тиску в ULPA також повинно бути рівномірним.
Рівномірна швидкість подачі повітря: тобто нерівномірність повітряного потоку контролюється в межах ± 20%.
Менша мертва зона на поверхні подачі повітря: не тільки площина рами ULPA буде зменшуватися, але що ще важливіше, слід прийняти модульну FFU для спрощення надмірної рами.
Для забезпечення вертикального однонаправленого потоку повітря, вибір падіння тиску також дуже важливий, що вимагає, щоб втрата тиску в фільтрі не могла відхилятися.
(2). Порівняння між системою FFU та вентиляторною системою осьового потоку
FFU - це блок подачі повітря з вентилятором і фільтром (ULPA). Після того, як повітря засмоктується відцентровим вентилятором FFU, динамічний тиск перетворюється на статичний тиск у повітряному каналі і рівномірно вибухає ULPA. Тиск подачі повітря на стелю - це негативний тиск, так що жоден пил не просочиться в чисту кімнату, коли фільтр буде замінений. Експерименти показали, що система FFU перевершує систему вентиляторів осьового потоку з точки зору рівномірності випуску повітря, паралелізму та показника ефективності вентиляції. Це тому, що паралелізм повітряного потоку системи FFU краще. Використання системи FFU може покращити потік повітря в чистому приміщенні.
(3). Вплив власної структури FFU
FFU в основному складається з вентиляторів, фільтрів, пристроїв повітряного потоку та інших компонентів. ULPA ультра-високої ефективності є найважливішою гарантією того, чи може чиста кімната досягти необхідної чистоти конструкції. Матеріал фільтра також вплине на рівномірність поля потоку. Коли до виходу фільтра додається грубий фільтр або ламінарну потокову пластину, поле потоку виходу легко можна зробити рівномірним.
2. Вплив різних інтерфейсів швидкості чистоти
У тому ж чистому приміщенні, між робочою зоною та неробочою зоною вертикального однонаправленого потоку, через різницю швидкості повітря на виході ULPA, на інтерфейсі буде генеруватися змішаний вихровий ефект, і цей інтерфейс стане турбулентним Зона потоку повітря з особливо високою інтенсивністю турбулентності повітря. Частинки можуть передаватися на поверхню обладнання та забруднити обладнання та вафлі.
3. Вплив персоналу та обладнання
Коли чиста кімната порожня, характеристики потоку повітря в приміщенні, як правило, відповідають вимогам дизайну. Після того, як обладнання потрапляє в чисту кімнату, персонал переміщується та передається продукція, неминуче буде перешкоди для організації повітряного потоку. Наприклад, у виступаючих куточках або краях обладнання газ буде перенаправлений, утворюючи турбулентну зону, а рідина в зоні не легко захоплюється газом, тим самим спричиняючи забруднення. У той же час, поверхня обладнання буде нагріватися через безперервну роботу, а градієнт температури спричинить зону відновлення поблизу машини, що збільшить накопичення частинок у зоні відновлення. У той же час, висока температура легко призведе до виходу частинок. Подвійний ефект посилює труднощі з контролем загальної вертикальної ламінарної чистоти. Пил від операторів у чистому приміщенні дуже легко прилипати до вафель у цих зонах.
4. Вплив повернення повітряного підлоги
Коли опір повернення повітря, що проходить через підлогу, відрізняється, буде створена різниця тиску, так що повітря буде текти в напрямку меншого опору, і рівномірний потік повітря не буде отримано. Поточний популярний метод проектування - використовувати підвищені підлоги. Коли швидкість відкриття підвищених поверхів становить 10%, швидкість потоку повітря у висоті робочої кімнати може бути рівномірно розподілена. Крім того, слід приділяти сувору увагу на прибиральні роботи, щоб зменшити джерело забруднення підлоги.
5. Індукційне явище
Так зване індукційне явище відноситься до явища, що генерується потік повітря у протилежному напрямку рівномірного потоку, і пил, що утворюється в приміщенні або пилу в сусідній забрудненій ділянці, індукується в сторону вітру, так що пил може забруднити мікросхему. Далі наведені можливі явища індукції:
(1). Сліпа плита
У чистому приміщенні з вертикальним однонаправленим потоком, через стики на стіні, як правило, є великі сліпі плитки, які будуть генерувати турбулентність у місцевому зворотному потоці.
(2). Лампи
Світлові світильники в чистому приміщенні матимуть більший вплив. Оскільки тепло флуоресцентних світильників призводить до зростання потоку повітря, під флуоресцентними лампами не буде бурхливої ділянки. Як правило, світильники в чистому приміщенні розроблені у формі сльози, щоб зменшити вплив світильників на організацію повітряного потоку.
(3.) Прогалини між стінами
Коли існують прогалини між перегородками з різними рівнями чистоти або між перегородками та стелями, пил з області з низькими вимогами до чистоти може бути перенесений на сусідню область з високими вимогами до чистоти.
(4). Відстань між машиною та підлогою або стіною
Якщо зазор між машиною та підлогою або стіною дуже невеликий, це спричинить відскоку турбулентність. Тому залиште проміжок між обладнанням та стіною і підніміть машину, щоб не дозволити машині торкнутися землі безпосередньо.
Час посади: лютий-05-2025