Відповідно до організації повітряного потоку та прокладання різних трубопроводів, а також вимог до розташування систем кондиціонування повітря, що підводять та виводять зворотне повітря, освітлювальних приладів, датчиків сигналізації тощо, чисту кімнату зазвичай розміщують на верхньому технічному мезоніні, нижньому технічному мезоніні, технічному мезоніні або технічній шахті.
Технічний мезонін
Електричні трубопроводи в чистих приміщеннях повинні розташовуватися на технічних антресолях або в тунелях. Слід використовувати кабелі з низьким димом, без галогенів. Провідні трубопроводи повинні бути виготовлені з негорючих матеріалів. Електричні трубопроводи в чистих виробничих зонах повинні прокладатися приховано, а на стиках між отворами електропроводів та різним електрообладнанням, встановленим на стіні, слід вживати надійних заходів герметизації. Метод верхнього розподілу живлення в чистих приміщеннях: низьковольтні лінії передачі та розподілу електроенергії зазвичай використовують два методи, а саме: кабельний міст прокладається до розподільчої коробки, а розподільча коробка - до електрообладнання; або закритий шинний канал через штекерну коробку (роз'єм заблокований, коли він не використовується), від штекерної коробки до електричного щита керування виробничим обладнанням або виробничою лінією. Останній метод розподілу живлення використовується лише на заводах з виробництва електронного, комунікаційного, електротехнічного обладнання та комплектних машин з низькими вимогами до чистоти. Він може призвести до змін у виробничій продукції, оновлення та зміни виробничих ліній, а також до зсувів, додавання та віднімання виробничого обладнання. Це надзвичайно зручно. Немає потреби модифікувати обладнання та дроти розподілу живлення в цеху. Вам потрібно лише перемістити штекерну коробку шини або використати запасну штекерну коробку для виведення кабелю живлення.
Проводка мезоніну
Технічна проводка мезоніну в чистій кімнаті: її слід використовувати, коли над чистою кімнатою є технічний мезонін або коли над нею є підвісні стелі. Підвісні стелі можна розділити на структурні форми, такі як залізобетонні сендвіч-стелі та металеві стінові панелі. Металеві стінові панелі та підвісні стелі зазвичай використовуються в чистих приміщеннях.
Герметизація
Спосіб прокладання проводів технічного мезоніну в чистій кімнаті мало чим відрізняється від вищезгаданого способу розподілу живлення, але слід наголосити, що коли дроти та кабельні трубопроводи проходять через стелю, вони повинні бути герметизовані, щоб запобігти потраплянню пилу та бактерій зі стелі в чисту кімнату та підтримувати позитивний (негативний) тиск у чистій кімнаті. Для верхнього мезоніну чистої кімнати з неодноспрямованим потоком, яка має лише верхній технічний мезонін, зазвичай прокладаються вентиляційні канали кондиціонерів, газові канали, водопровідні канали, електричні та комунікаційні трубопроводи сильного та слабкого струму, мости, шини тощо, і канали часто перетинаються. Це дуже складно. Під час проектування потрібне ретельне планування, формулювання «правил дорожнього руху» та створення вичерпних креслень поперечних перерізів трубопроводів для впорядкованого розташування різних трубопроводів для полегшення будівництва та обслуговування. За нормальних обставин, кабельні лотки сильного струму повинні уникати каналів кондиціонерів, а інші трубопроводи повинні уникати закритих шин. Якщо мезонін на стелі чистої кімнати високий (наприклад, 2 м і вище), у стелі необхідно встановити освітлювальні та сервісні розетки, а також пожежні сповіщувачі відповідно до норм.
Верхній та нижній технічний мезонін
Проводка в нижньому технічному мезоніні чистої кімнати: В останні роки чисті кімнати для великомасштабного виробництва інтегральних схем та виробництва РК-панелей зазвичай використовують багатошарові чисті кімнати з багатошаровим плануванням, причому верхні технічні мезоніни встановлюються у верхній та нижній частинах чистого виробничого рівня, нижній технічний мезонін має висоту підлоги понад 4,0 м.
Пленум зворотного повітря
Нижній технічний мезонін зазвичай використовується як пленум рециркуляційного повітря очищеної системи кондиціонування повітря. Відповідно до потреб інженерного проектування, електричні трубопроводи, кабельні лотки та закриті шини можуть бути прокладені в пленумі рециркуляційного повітря. Метод розподілу живлення низької напруги не сильно відрізняється від попереднього методу, за винятком того, що пленум рециркуляційного повітря є невід'ємною частиною системи чистого приміщення. Трубопроводи, кабелі та шини, прокладені в статичному пленумі, повинні бути попередньо очищені перед встановленням та прокладанням, щоб полегшити щоденне очищення. Низькотехнологічний метод електропроводки мезоніну передає живлення до електрообладнання в чистому приміщенні. Відстань передачі коротка, і в чистому приміщенні мало або взагалі немає відкритих трубопроводів, що сприяє підвищенню чистоти.
Чиста кімната тунельного типу
Нижній мезонін чистої кімнати та електропроводка на верхньому та нижньому поверхах багатоповерхової чистої кімнати розташовані в чистій майстерні, яка використовує чисту кімнату тунельного типу або чисту майстерню з технічними проходами та технічними шахтами. Оскільки чиста кімната тунельного типу облаштована з чистою виробничою зоною та зоною допоміжного обладнання, більшість допоміжного обладнання, такого як вакуумні насоси, шафи керування, громадські електропроводи, електричні трубопроводи, кабельні лотки, закриті шини та розподільні коробки, розташовані в зоні допоміжного обладнання, допоміжне обладнання може легше підключати лінії електропередач та лінії керування до електрообладнання в чистій виробничій зоні.
Технічний вал
Якщо чисте приміщення обладнане технічними проходами або технічними шахтами, електропроводку можна розміщувати у відповідних технічних проходах або технічних шахтах відповідно до схеми виробничого процесу, але слід звернути увагу на те, щоб залишити необхідний простір для монтажу та обслуговування. Слід повністю враховувати схему, простір для монтажу та обслуговування інших трубопроводів та їх допоміжних пристроїв, розташованих у тому ж технічному тунелі або шахті. Повинно бути загальне планування та комплексна координація.
Час публікації: 01 листопада 2023 р.