Якщо в HEPA-фільтрі та його встановленні є дефекти, такі як невеликі отвори в самому фільтрі або крихітні тріщини, спричинені нещільним встановленням, бажаний ефект очищення не буде досягнутий. Тому після встановлення або заміни HEPA-фільтра необхідно провести перевірку на герметичність фільтра та монтажного з'єднання.
1. Мета та обсяг виявлення витоків:
Мета виявлення: Шляхом перевірки герметичності HEPA-фільтра виявити дефекти HEPA-фільтра та його встановлення, щоб вжити заходів щодо їх усунення.
Діапазон виявлення: чиста зона, робочий стіл з ламінарним потоком та HEPA-фільтр на обладнанні тощо.
2. Метод виявлення витоків:
Найпоширенішим методом є метод DOP для виявлення витоків (тобто використання розчинника DOP як джерела пилу та робота з аерозольним фотометром для виявлення витоків). Метод сканування лічильником частинок пилу також може бути використаний для виявлення витоків (тобто використання атмосферного пилу як джерела пилу та робота з лічильником частинок для виявлення витоків).
Однак, оскільки показники лічильника частинок є кумулятивними, вони не сприяють скануванню, а швидкість перевірки повільна; крім того, на навітряному боці випробуваного HEPA-фільтра концентрація атмосферного пилу часто низька, і для легкого виявлення витоків потрібен додатковий дим. Для виявлення витоків використовується метод лічильника частинок. Метод DOP може лише компенсувати ці недоліки, тому зараз метод DOP широко використовується для виявлення витоків.
3. Принцип роботи методу виявлення витоків DOP:
Аерозоль DOP викидається як джерело пилу на навітряному боці високоефективного фільтра, що тестується (DOP – це діоктилфталат, молекулярна маса 390,57, а частинки після розпилення мають сферичну форму).
Аерозольний фотометр використовується для відбору проб з навітряного боку. Зібрані проби повітря проходять через дифузійну камеру фотометра. Розсіяне світло, що генерується газом, що містить пил, що проходить через фотометр, перетворюється на електрику за допомогою фотоелектричного ефекту та лінійного посилення, і швидко відображається мікроамперметром, за допомогою якого можна виміряти відносну концентрацію аерозолю. Тест DOP фактично вимірює швидкість проникнення HEPA-фільтра.
Генератор DOP – це пристрій, який генерує дим. Після того, як розчинник DOP заливається в контейнер генератора, під певним тиском або нагріванням утворюється аерозольний дим, який подається на навітряну сторону високоефективного фільтра (рідкий DOP нагрівається, утворюючи пару DOP, а пара нагрівається в певному конденсаті, за певних умов утворюючи дрібні краплі, видаляючи занадто великі та занадто дрібні краплі, залишаючи лише частинки розміром близько 0,3 мкм, і туманний DOP потрапляє в повітропровід);
Аерозольні фотометри (прилади для вимірювання та відображення концентрацій аерозолів повинні вказувати термін дії калібрування, і можуть використовуватися лише за умови, що вони пройшли калібрування та знаходяться в межах терміну дії);
4. Робоча процедура тесту на виявлення витоків:
(1). Підготовка до виявлення витоків
Підготуйте обладнання, необхідне для виявлення витоків, та план поверху повітропроводу системи очищення та кондиціонування повітря в зоні, що підлягає інспекції, та повідомте компанію, що постачає обладнання для очищення та кондиціонування повітря, про необхідність бути на місці в день виявлення витоку для виконання таких операцій, як нанесення клею та заміна HEPA-фільтрів.
(2). Операція виявлення витоків
①Перевірте, чи рівень рідкого розчинника DOP в аерозольному генераторі вищий за низький рівень, якщо його недостатньо, його слід додати.
②Підключіть балон з азотом до генератора аерозолю, увімкніть температурний перемикач генератора аерозолю та зачекайте, поки червоне світло зміниться на зелене, що означає досягнення температури (близько 390~420℃).
③Підключіть один кінець випробувального шланга до порту для вимірювання концентрації вище за течією аерозольного фотометра, а інший кінець розмістіть на стороні впуску повітря (вище за течією) випробуваного HEPA-фільтра. Увімкніть перемикач фотометра та встановіть випробувальне значення на «100».
④Увімкніть азотний перемикач, встановіть тиск на рівні 0,05~0,15 МПа, повільно відкрийте масляний клапан генератора аерозолю, встановіть випробувальне значення фотометра на рівні 10~20 та введіть виміряну концентрацію вище по потоку після стабілізації випробувального значення. Виконайте подальше сканування та перевірку.
⑤Підключіть один кінець випробувального шланга до вимірювального отвору концентрації аерозольного фотометра, а іншим кінцем, пробовідбірною головкою, скануйте сторону виходу повітря з фільтра та кронштейна. Відстань між пробовідбірною головкою та фільтром становить приблизно 3-5 см, сканування здійснюється вздовж внутрішньої рамки фільтра вперед і назад, а швидкість перевірки – менше 5 см/с.
Обсяг випробувань включає фільтрувальний матеріал, з'єднання між фільтрувальним матеріалом та його рамою, з'єднання між прокладкою рами фільтра та опорною рамою групи фільтрів, з'єднання між опорною рамою та стіною або стелею для перевірки фільтрувального матеріалу на наявність невеликих отворів та інших пошкоджень у фільтрі, ущільнень рами, прокладок та витоків у рамці фільтра.
Планове виявлення витоків у HEPA-фільтрах у чистих зонах класу вище 10000 зазвичай проводиться раз на рік (раз на півроку у стерильних зонах); якщо під час щоденного моніторингу чистих зон спостерігаються значні відхилення від норми в кількості частинок пилу, седиментаційних бактерій та швидкості повітря, також слід проводити виявлення витоків.
Час публікації: 07 вересня 2023 р.