1. У чистій кімнаті слід облаштовувати різні типи приміщень для зберігання та розподілу хімікатів, виходячи з вимог виробничого процесу продукції та фізичних і хімічних властивостей хімікатів. Для постачання необхідних хімікатів до виробничого обладнання слід використовувати трубопроводи. Приміщення для зберігання та розподілу хімікатів у чистій кімнаті зазвичай розташовуються у допоміжній виробничій зоні, як правило, на першому поверсі одноповерхової або багатоповерхової будівлі, біля зовнішньої стіни. Хімікати слід зберігати окремо відповідно до їх фізичних та хімічних властивостей. Несумісні хімікати слід розміщувати в окремих приміщеннях для зберігання та розподілу хімікатів, розділених міцними перегородками. Небезпечні хімікати слід зберігати в окремих приміщеннях для зберігання або розподілу з вогнестійкістю не менше 2,0 годин між суміжними приміщеннями. Ці приміщення повинні розташовуватися в приміщенні на першому поверсі виробничої будівлі, біля зовнішньої стіни.
2. Чисті приміщення в електронній промисловості часто мають приміщення для зберігання та розподілу кислот і лугів, а також легкозаймистих розчинників. У приміщеннях для зберігання та розподілу кислот зазвичай містяться системи зберігання та розподілу сірчаної кислоти, фосфорної кислоти, плавикової кислоти та соляної кислоти. У приміщеннях для зберігання та розподілу лугів зазвичай містяться системи зберігання та розподілу гідроксиду натрію, гідроксидного кеку, гідроксиду амонію та гідроксиду тетраметиламонію. У приміщеннях для зберігання та розподілу легкозаймистих розчинників зазвичай містяться системи зберігання та розподілу органічних розчинників, таких як ізопропіловий спирт (IPA). Чисті приміщення на заводах з виробництва пластин інтегральних схем також мають приміщення для зберігання та розподілу полірувального шламу. Приміщення для зберігання та розподілу хімікатів зазвичай розташовані у допоміжних виробничих або допоміжних зонах поблизу або поруч із чистими виробничими зонами, як правило, на першому поверсі з прямим виходом назовні.
3. Кімнати для зберігання та розподілу хімікатів обладнані бочками або резервуарами різної місткості залежно від типу, кількості та характеристик використання хімікатів, необхідних для виробництва продукції. Відповідно до стандартів та норм, хімікати повинні зберігатися окремо та класифікуватися. Місткості бочок або резервуарів, що використовуються, має бути достатньо для семиденного споживання хімікатів. Також повинні бути передбачені добові бочки або резервуари, місткістю достатні для покриття 24-годинного споживання хімікатів, необхідних для виробництва продукції. Кімнати для зберігання та розподілу легкозаймистих розчинників та окислювальних хімікатів повинні бути окремими та відокремленими від сусідніх приміщень міцними вогнестійкими стінами з межею вогнестійкості 3,0 години. Якщо вони розташовані на першому поверсі багатоповерхового будинку, вони повинні бути відокремлені від інших зон негорючими перекриттями з межею вогнестійкості не менше 1,5 години. Централізований диспетчерський пункт системи хімічної безпеки та моніторингу в чистій кімнаті повинен розташовуватися в окремому приміщенні.
4. Висота приміщень для зберігання та розподілу хімікатів у чистих приміщеннях повинна визначатися на основі вимог до обладнання та схеми трубопроводів і, як правило, не повинна бути менше 4,5 метрів. Якщо приміщення для зберігання та розподілу хімікатів розташоване в допоміжній виробничій зоні чистого приміщення, його висота повинна відповідати висоті будівлі.
Час публікації: 01 серпня 2025 р.