Протипожежні засоби є важливою частиною чистого приміщення. Його важливість полягає не тільки в тому, що його технологічне обладнання та будівельні проекти є дорогими, а й тому, що чисті кімнати є відносно закритими будівлями, а деякі навіть цехами без вікон. Проходи чистих приміщень вузькі та звивисті, що ускладнює евакуацію персоналу та навчання вогню. Щоб забезпечити безпеку життя людей і майна, у проекті має бути реалізована політика протипожежного захисту «передусім профілактика, поєднуючи профілактику та пожежу». На додаток до вжиття ефективних протипожежних заходів при проектуванні чистого приміщення, крім того, також встановлюються необхідні засоби пожежогасіння. Виробничі характеристики чистих приміщень такі:
(1) Існує багато прецизійного обладнання та інструментів, а також використовуються різні легкозаймисті, вибухонебезпечні, корозійні та токсичні гази та рідини. Пожежна небезпека деяких виробничих частин належить до категорії C (наприклад, окислювальна дифузія, фотолітографія, іонна імплантація, друк і пакування тощо), а деякі належать до категорії A (наприклад, витягування монокристалів, епітаксія, хімічне осадження з парової фази тощо). .).
(2) Чиста кімната дуже герметична. Після виникнення пожежі буде важко евакуювати персонал і загасити вогонь.
(3) Вартість будівництва чистого приміщення висока, а обладнання та інструменти дорогі. Як тільки спалахне пожежа, економічні збитки будуть величезними.
Виходячи з вищезазначених характеристик, до чистих приміщень пред’являються дуже високі вимоги щодо протипожежного захисту. Окрім системи протипожежного захисту та водопостачання, слід також встановити стаціонарні пристрої пожежогасіння, особливо цінне обладнання та інструменти в чистих приміщеннях необхідно ретельно визначити.
Час публікації: 11 квітня 2024 р