Протипожежні засоби є важливою частиною чистих приміщень. Їх значення полягає не лише у високій вартості технологічного обладнання та будівельних проектів, але й у тому, що чисті приміщення є відносно закритими будівлями, а деякі навіть є майстернями без вікон. Проходи чистих приміщень вузькі та звивисті, що ускладнює евакуацію персоналу та навчання пожежній безпеці. Для забезпечення безпеки життя та майна людей, під час проектування слід впроваджувати політику протипожежного захисту «попередження понад усе, поєднання профілактики та пожежної безпеки». Окрім вжиття ефективних заходів протипожежної безпеки під час проектування чистих приміщень, також необхідно встановити необхідні засоби пожежогасіння. Виробничі характеристики чистих приміщень:
(1) Існує багато прецизійного обладнання та інструментів, а також використовуються різноманітні легкозаймисті, вибухонебезпечні, корозійні та токсичні гази та рідини. Пожежна небезпека деяких виробничих деталей належить до категорії C (наприклад, окислювально-дифузійна обробка, фотолітографія, іонна імплантація, друк та упаковка тощо), а деяких – до категорії A (наприклад, витягування монокристалів, епітаксія, хімічне осадження з парової фази тощо).
(2) Чисте приміщення має високу герметичність. У разі пожежі буде важко евакуювати персонал та загасити вогонь.
(3) Вартість будівництва чистої кімнати висока, а обладнання та інструменти дорогі. У разі пожежі економічні втрати будуть величезними.
Виходячи з вищезазначених характеристик, чисті приміщення мають дуже високі вимоги до пожежної безпеки. Окрім системи пожежної безпеки та водопостачання, також слід встановити стаціонарні засоби пожежогасіння, особливо цінне обладнання та інструменти в чистих приміщеннях необхідно ретельно підбирати.
Час публікації: 11 квітня 2024 р.