Захист від пожежі та водопостачання в чистому приміщенні

Забезпечення пожежної охорони є важливою частиною чистої кімнати. Його значення не лише тому, що його технологічне обладнання та будівельні проекти дорогі, а й тому, що чисті приміщення є відносно закритими будівлями, а деякі - навіть без вікон. Чисті проходи в приміщенні вузькі та звивисті, що ускладнює евакуацію персоналу та викладання вогонь. Для того, щоб забезпечити безпеку життя та майна людей, в розробці повинна бути реалізована політика пожежної охорони "профілактики, поєднання запобігання та пожежі". Окрім вжиття ефективних заходів щодо запобігання пожеж у розробці чистої кімнати, крім того, також встановлюються необхідні пожежні споруди. Виробничі характеристики чистих приміщень:

(1) Використовується багато точних обладнання та інструментів, використовується різноманітні легкозаймисті, вибухонебезпечні, корозійні та токсичні гази та рідини. Пожежна небезпека деяких виробничих деталей належить до категорії C (наприклад, дифузія окислення, фотолітографія, імплантація іонів, друк та упаковка тощо), а деякі належать до категорії А (наприклад, монокристалічний тягнення, епітаксія, хімічне осадження парів тощо .).

(2) Чиста кімната дуже герметична. Як тільки пожежа спалахне, буде важко евакуювати персонал і поставити пожежу.

(3) Вартість будівництва чистого приміщення висока, а обладнання та інструменти дорогі. Як тільки пожежа спалахне, економічні втрати будуть величезними.

Виходячи з вищевказаних характеристик, чисті приміщення мають дуже високі вимоги до пожежної охорони. Окрім системи захисту від пожеж та водопостачання, слід також встановити фіксовані пристрої для пожежогасіння, особливо цінне обладнання та інструменти в чистому приміщенні потрібно ретельно визначити.