Встановлення технологічного обладнання в чистій кімнаті повинно базуватися на конструкції та функції чистої кімнати. Будуть представлені наступні деталі.
1. Спосіб встановлення обладнання: Ідеальним методом є закриття чистого приміщення під час періоду встановлення обладнання та наявність дверей, які відповідають куту огляду обладнання, або резервування проходу для нового обладнання, щоб воно могло проходити та потрапляти до чистого приміщення, щоб запобігти забрудненню чистого приміщення поблизу періоду встановлення. Слід вжити захисних заходів, щоб забезпечити відповідність чистого приміщення вимогам щодо чистоти та подальших робіт.
2. Якщо роботу в чистому приміщенні неможливо зупинити під час кожного періоду монтажу, або якщо є конструкції, які необхідно демонтувати, робоче чисте приміщення має бути ефективно ізольоване від робочої зони: можна використовувати тимчасові ізоляційні стіни або перегородки. Щоб не перешкоджати монтажним роботам, навколо обладнання має бути достатньо місця. Якщо дозволяють умови, доступ до ізоляційної зони може здійснюватися через сервісні канали або інші некритичні зони: якщо це неможливо, слід вжити заходів для мінімізації впливу забруднення, спричиненого монтажними роботами. В ізоляційній зоні повинен підтримуватися рівний тиск або негативний тиск. Подача чистого повітря повинна бути перекрита у висотній зоні, щоб уникнути позитивного тиску на навколишнє чисте приміщення. Якщо доступ до ізоляційної зони здійснюється лише через сусіднє чисте приміщення, слід використовувати липкі прокладки для видалення бруду, що переноситься взуттям.
3. Після входу у високогірну зону можна використовувати одноразові чоботи або бахіли та цільний робочий одяг, щоб уникнути забруднення чистої кімнати. Ці одноразові предмети слід зняти перед виходом з карантинної зони. Слід розробити методи моніторингу зони навколо ізоляційної зони під час встановлення обладнання та визначити частоту моніторингу, щоб забезпечити виявлення будь-якого забруднення, яке може потрапити в сусідню чисту кімнату. Після встановлення ізоляційних заходів можна встановити різні необхідні комунальні об'єкти, такі як електропостачання, водопостачання, газопровід, вакуум, стиснене повітря та трубопроводи для стічних вод. Слід звернути увагу на контроль та ізоляцію диму та сміття, що утворюються під час роботи, наскільки це можливо, щоб уникнути випадкового поширення в навколишню чисту кімнату. Це також має сприяти ефективному очищенню перед зняттям ізоляційного бар'єру. Після того, як комунальні об'єкти відповідатимуть вимогам використання, всю ізоляційну зону слід очистити та знезаразити відповідно до встановлених процедур очищення. Усі поверхні, включаючи всі стіни, обладнання (стаціонарне та рухоме) та підлоги, слід пропилососити, протерти та витерти шваброю, приділяючи особливу увагу очищенню ділянок за огорожею обладнання та під обладнанням.
4. Попереднє випробування працездатності обладнання може бути проведене на основі фактичних умов чистого приміщення та встановленого обладнання, але наступні приймальні випробування слід проводити, коли умови чистого середовища повністю виконані. Залежно від умов на місці встановлення, можна розпочати обережний демонтаж ізоляційної стіни; якщо подачу чистого повітря було вимкнено, перезапустіть її; час для цього етапу роботи слід ретельно вибрати, щоб мінімізувати перешкоди для нормальної роботи чистого приміщення. У цей час може знадобитися виміряти, чи відповідає концентрація частинок у повітрі заданим вимогам.
5. Очищення та підготовка внутрішньої частини обладнання та ключових технологічних камер повинні проводитися за звичайних умов чистого приміщення. Усі внутрішні камери та всі поверхні, що контактують з продуктом або беруть участь у транспортуванні продукту, повинні бути протерті до необхідного рівня чистоти. Послідовність очищення обладнання повинна бути зверху вниз. Якщо частинки розсипаються, більші частинки потраплять на дно обладнання або на землю під дією сили тяжіння. Очищайте зовнішню поверхню обладнання зверху вниз. За необхідності, виявлення поверхневих частинок слід проводити в зонах, де вимоги до продукту або виробничого процесу є критичними.
6. З огляду на характеристики чистих приміщень, особливо велику площу, високі інвестиції, високу продуктивність та дуже суворі вимоги до чистоти високотехнологічних чистих приміщень, встановлення виробничого технологічного обладнання в цьому типі чистих приміщень більше схоже на встановлення у звичайних чистих приміщеннях. Немає жодних конкретних вимог. З цією метою опублікований національний стандарт «Кодекс будівництва чистих приміщень та прийняття якості» містить деякі положення щодо встановлення виробничого технологічного обладнання в чистих приміщеннях, зокрема наступні.
A. Щоб запобігти забрудненню або навіть пошкодженню чистої кімнати (зони), яка пройшла «порожню» приймальну обробку під час процесу встановлення виробничого технологічного обладнання, обладнання під час встановлення не повинно мати надмірної вібрації або нахилу, а також не повинно бути розділеним та забруднювати поверхні обладнання.
B. Для того, щоб встановити виробниче технологічне обладнання в чистому приміщенні (зоні) було впорядковано та без або з меншою кількістю сидячих місць, а також дотримуватися системи управління чистим виробництвом у чистому приміщенні, необхідно забезпечити захист процесу встановлення виробничого обладнання відповідно до різних «готових виробів» та «напівфабрикатів», прийнятих у «порожньому стані», матеріали, машини тощо, які повинні використовуватися в процесі встановлення, не повинні виділяти або утворювати (включаючи нормальний режим роботи чистого приміщення протягом тривалого часу) забруднюючі речовини, шкідливі для виробленої продукції. Слід використовувати матеріали для чистого приміщення, які не містять пилу, іржі, жиру та не утворюють пилу під час використання.
C. Поверхня будівлі чистої кімнати (зони) повинна бути захищена панелями, плівками та іншими матеріалами для чистої кімнати; опорна плита обладнання повинна бути виготовлена відповідно до вимог проекту або технічної документації на обладнання. Якщо вимог немає, слід використовувати плити з нержавіючої сталі або пластикові плити. Профілі з вуглецевої сталі, що використовуються для незалежних фундаментів та армування підлоги, повинні бути оброблені антикорозійним складом, а поверхня повинна бути рівною та гладкою; для герметизації слід використовувати еластичні герметичні матеріали.
D. Матеріали повинні бути марковані з зазначенням інгредієнтів, різновидів, дати виробництва, терміну придатності до зберігання, інструкцій щодо методу виготовлення та сертифікатів продукції. Машини та інструменти, що використовуються в чистих приміщеннях (зонах), не повинні переміщуватися в нечисті приміщення (зони) для використання. Машини та інструменти не повинні переміщуватися в чисті приміщення (зони) для використання. Машини та інструменти, що використовуються в чистих зонах, повинні забезпечувати, щоб відкриті частини машини не утворювали пил, або вживати заходів для запобігання забрудненню навколишнього середовища пилом. Зазвичай використовувані машини та інструменти слід очищати в гідрошлюзовому шлюзі перед переміщенням у чисту зону та повинні відповідати вимогам щодо відсутності масла, бруду, пилу та іржі, і їх слід переміщувати після проходження перевірки та нанесення знака "Чиста" або "Тільки чиста зона".
E. Виробниче обладнання в чистих приміщеннях (зонах) необхідно встановлювати на «спеціальних підлогах», таких як фальшпідлоги. Фундамент обладнання, як правило, слід встановлювати на нижньому технічному мезоніні або на пористій цементній плиті; для встановлення фундаменту необхідно демонтувати роботи. Конструкцію підлоги після розрізання ручною електричною пилкою слід посилити, а її несуча здатність не повинна бути нижчою за початкову несучу здатність. Якщо використовується незалежний фундамент зі сталевої каркасної конструкції, він повинен бути виготовлений з оцинкованого матеріалу або нержавіючої сталі, а відкрита поверхня повинна бути рівною та гладкою.
F. Якщо процес встановлення виробничого технологічного обладнання в чистому приміщенні (зоні) вимагає відкриття отворів у стінових панелях, підвісних стелях та фальшованих підлогах, свердлильні роботи не повинні розділяти або забруднювати поверхні стінових панелей та панелей підвісних стель, які необхідно зберегти. Після відкриття фальшованих підлог, якщо фундамент не може бути вчасно встановлений, слід встановити захисні огорожі та знаки небезпеки; після встановлення виробничого обладнання зазор навколо отвору слід герметизувати, а обладнання та ущільнювальні компоненти повинні бути в гнучкому контакті, а з'єднання між ущільнювальним компонентом та стіновою панеллю має бути щільним та надійним; ущільнювальна поверхня з одного боку робочого приміщення повинна бути рівною та гладкою.
Час публікації: 16 січня 2024 р.