Встановлення технологічного обладнання в чистій кімнаті має базуватися на конструкції та функції чистої кімнати. Будуть представлені наступні деталі.
1. Спосіб встановлення обладнання: ідеальний метод полягає в тому, щоб закрити чисте приміщення під час встановлення обладнання та мати двері, які можуть відповідати куту огляду обладнання, або зарезервувати прохід, щоб дозволити новому обладнанню проходити та входити в чисте приміщення, щоб щоб запобігти забрудненню чистої кімнати, яка знаходиться біля періоду встановлення, необхідно вжити захисних заходів, щоб гарантувати, що чиста кімната все ще відповідає вимогам щодо чистоти та подальшої необхідної роботи.
2. Якщо роботу в чистій кімнаті неможливо припинити протягом кожного періоду монтажу або якщо є конструкції, які потрібно демонтувати, чиста кімната повинна бути ефективно ізольована від робочої зони: можна використовувати тимчасові ізоляційні стіни або перегородки. Щоб не заважати монтажним роботам, навколо обладнання повинно бути достатньо місця. Якщо дозволяють умови, доступ до зони ізоляції може здійснюватися через канали обслуговування або інші некритичні зони: якщо це неможливо, слід вжити заходів для мінімізації впливу забруднення, спричиненого монтажними роботами. Зона ізоляції повинна підтримувати рівний або негативний тиск. Подачу чистого повітря слід припинити у багатоповерховій зоні, щоб уникнути надлишкового тиску на навколишнє чисте приміщення. Якщо доступ до зони ізоляції здійснюється лише через сусідню чисту кімнату, слід використовувати липкі подушечки для видалення бруду з взуття.
3. Після входу у висотну зону можна використовувати одноразові черевики чи бахіли та суцільний робочий одяг, щоб уникнути забруднення чистого приміщення. Перед виходом із зони карантину ці одноразові предмети слід видалити. Необхідно розробити методи моніторингу зони навколо зони ізоляції під час процесу встановлення обладнання та визначити частоту моніторингу, щоб переконатися, що будь-яке забруднення, яке може просочитися в сусідню чисту кімнату, виявлено. Після встановлення заходів ізоляції можна встановити різні необхідні комунальні об’єкти, такі як електрика, вода, газ, вакуум, стиснене повітря та каналізаційні трубопроводи, слід приділити увагу контролю та ізоляції диму та сміття, що утворюється під час роботи, оскільки щоб уникнути ненавмисного розповсюдження в навколишнє чисте приміщення. Це також має сприяти ефективному очищенню перед видаленням ізоляційного бар’єру. Після того, як об’єкти громадського обслуговування відповідатимуть вимогам щодо використання, уся зона ізоляції повинна бути очищена та дезактивована відповідно до встановлених процедур очищення. Усі поверхні, включаючи всі стіни, обладнання (нерухоме та рухоме) та підлогу, слід очистити пилососом, витерти та витерти шваброю, приділяючи особливу увагу прибиранню зон за огородженнями та під обладнанням.
4. Попереднє випробування продуктивності обладнання може бути проведене на основі фактичних умов чистої кімнати та встановленого обладнання, але наступне приймальне випробування повинно проводитися, коли умови чистого середовища будуть повністю дотримані. Залежно від умов на місці монтажу можна приступати до ретельного демонтажу ізоляційної стіни; якщо подача чистого повітря була вимкнена, перезапустіть її; час для цього етапу роботи слід ретельно підбирати, щоб мінімізувати перешкоди для нормальної роботи чистої кімнати. У цей час може знадобитися виміряти, чи відповідає концентрація частинок у повітрі зазначеним вимогам.
5. Очищення та підготовку внутрішньої частини обладнання та ключових технологічних камер слід проводити в звичайних умовах чистого приміщення. Усі внутрішні камери та всі поверхні, які контактують із продуктом або задіяні в транспортуванні продукту, повинні бути витерті до необхідного рівня чистоти. Послідовність очищення обладнання повинна бути зверху вниз. Якщо частинки розповсюджуються, більші частинки впадуть на дно обладнання або на землю під дією сили тяжіння. Очистіть зовнішню поверхню обладнання зверху вниз. За необхідності виявлення поверхневих частинок слід проводити в областях, де вимоги до продукту або виробничого процесу є критичними.
6. З огляду на характеристики чистих приміщень, особливо велику площу, великі інвестиції, високу продуктивність і дуже суворі вимоги до чистоти високотехнологічних чистих приміщень, установка виробничого обладнання в цьому типі чистих приміщень більш схожа на звичайної чистої кімнати. Особливих вимог немає. З цією метою випущений національний стандарт «Кодекс будівництва чистих приміщень і прийняття якості» містить деякі положення щодо встановлення виробничого технологічного обладнання в чистих приміщеннях, головним чином включаючи наступне.
A. Щоб запобігти забрудненню або навіть пошкодженню чистого приміщення (зони), яке пройшло «порожнє» приймання під час процесу встановлення виробничого технологічного обладнання, процес встановлення обладнання не повинен мати надмірної вібрації або нахилу, і не повинен бути розділені та забруднюють поверхні обладнання.
B. Для того, щоб установка виробничого технологічного обладнання в чистій кімнаті (зоні) була впорядкованою та без або з меншою кількістю сидячих місць, а також для дотримання системи управління чистим виробництвом у чистій кімнаті, переконайтеся, що процес встановлення виробничого обладнання захищений відповідно до до різних «готових виробів» і «напівфабрикатів», прийнятих у «порожньому стані», матеріали, машини тощо, які повинні використовуватися в процесі монтажу, не повинні виділяти або можуть виробляти (включаючи нормальне функціонування чистого кімната на довго час) забруднюючі речовини, шкідливі для виробленої продукції. Слід використовувати матеріали для чистих приміщень, які не містять пилу, іржі, жиру та не утворюють пил під час використання.
C. Поверхня оздоблення будівлі чистого приміщення (ділянки) повинна бути захищена панелями, плівками та іншими матеріалами чистого приміщення; опорна плита обладнання повинна бути виготовлена відповідно до вимог проекту або технічної документації обладнання. Якщо вимог немає, слід використовувати пластини з нержавіючої сталі або пластикові пластини. Профілі з вуглецевої сталі, які використовуються для окремих фундаментів і арматури підлоги, повинні бути оброблені антикорозійним засобом, а поверхня повинна бути рівною і гладкою; для ущільнення слід використовувати еластичні ущільнювальні матеріали.
D. Матеріали повинні бути позначені інгредієнтами, сортами, датою виробництва, терміном зберігання, інструкціями щодо методу виготовлення та сертифікатами продукту. Машини та інструменти, що використовуються в чистих приміщеннях (зонах), не можна переміщувати в нечисті приміщення (зони) для використання. Машини та інструменти не можна переносити в чисте приміщення (зону) для використання. Машини та інструменти, що використовуються в чистій зоні, повинні забезпечити, щоб відкриті частини машини не виробляли пил, або вжити заходів для запобігання пилу від забруднення навколишнього середовища. Машини та інструменти, які зазвичай використовуються, повинні бути очищені в повітряному шлюзі перед переміщенням у чисту зону та повинні відповідати вимогам щодо відсутності масла, бруду, пилу та іржі, і їх слід переміщувати після проходження перевірки та встановлення знак «Чисто» або «Лише чиста територія».
E. Обладнання для виробничого процесу в чистій кімнаті (зоні) необхідно встановити на «спеціальних поверхах», таких як фальшпідлоги. Фундамент обладнання, як правило, встановлюється на нижньому технічному міжповерховому перекритті або на цементно-пористій плиті; заходи, які необхідно демонтувати для встановлення фундаменту. Конструкція підлоги після різання ручною електропилкою повинна бути зміцнена, а її несуча здатність повинна бути не нижче початкової. Якщо використовується окрема основа сталевої каркасної конструкції, вона повинна бути виготовлена з оцинкованого матеріалу або нержавіючої сталі, а відкрита поверхня повинна бути рівною та гладкою.
F. Якщо процес встановлення виробничого технологічного обладнання в чистій кімнаті (зоні) вимагає відкриття отворів у стінових панелях, підвісних стелях і фальшпідлозі, операції свердління не повинні розділяти або забруднювати поверхні стінових панелей і панелей підвісної стелі, які потребують зберігається. Після відкриття фальшпідлоги, коли фундамент не може бути встановлений вчасно, слід встановити захисні огорожі та знаки небезпеки; після того, як виробниче обладнання встановлено, зазор навколо отвору повинен бути загерметизований, а обладнання та ущільнювальні компоненти повинні бути в гнучкому контакті, а з’єднання між ущільнювальним компонентом і стіновою панеллю має бути щільним і міцним; ущільнювальна поверхня з одного боку робочої кімнати повинна бути рівною та гладкою.
Час публікації: 16 січня 2024 р