IS0 14644-5 вимагає, щоб встановлення стаціонарного обладнання в чистих приміщеннях ґрунтувалося на конструкції та функціях чистих приміщень. Наступні деталі будуть представлені нижче.
1. Спосіб встановлення обладнання: ідеальний метод полягає в тому, щоб закрити чисту кімнату під час періоду встановлення обладнання та мати двері, які можуть відповідати куту огляду обладнання, або зарезервувати канал на платі, щоб нове обладнання проходило та входило чистим Щоб запобігти забрудненню чистого приміщення поблизу періоду встановлення, необхідно вжити захисних заходів, щоб гарантувати, що чисте приміщення все ще відповідає вимогам щодо чистоти та подальшої роботи.
2. Якщо роботу в чистій кімнаті не можна зупинити протягом кожного періоду встановлення або якщо є конструкції, які потрібно демонтувати, чиста кімната, що працює, повинна бути ефективно ізольована від робочої зони: можна використовувати тимчасові ізоляційні стіни або перегородки. Щоб не заважати монтажним роботам, навколо обладнання повинно бути достатньо місця. Якщо дозволяють умови, доступ до зони ізоляції може здійснюватися через канали обслуговування або інші некритичні зони: якщо це неможливо, слід вжити заходів для мінімізації впливу забруднення, спричиненого монтажними роботами. Зона ізоляції повинна підтримувати рівний або негативний тиск. Подачу чистого повітря слід припинити у багатоповерховій зоні, щоб уникнути надлишкового тиску на навколишні чисті приміщення. Якщо доступ до зони ізоляції здійснюється лише через сусіднє чисте приміщення, слід використовувати липкі подушечки для видалення бруду з взуття.
3. Після входу у високогірну зону можна використовувати одноразові черевики чи бахіли та цільний робочий одяг, щоб уникнути забруднення чистого одягу. Перед виходом із зони карантину ці одноразові предмети слід видалити. Необхідно розробити методи моніторингу зони навколо зони ізоляції під час процесу встановлення обладнання та визначити частоту моніторингу, щоб переконатися, що будь-яке забруднення, яке може просочитися в сусідню чисту кімнату, виявлено. Після встановлення заходів ізоляції можна встановити різні необхідні комунальні об’єкти, такі як електрика, вода, газ, вакуум, стиснене повітря та каналізація. Слід звернути увагу на контроль та ізоляцію диму та сміття, що утворюється під час роботи, наскільки це можливо, щоб уникнути випадкового поширення в навколишнє чисте приміщення. Це також має сприяти ефективному очищенню перед видаленням ізоляційного бар’єру. Після того, як об’єкти громадського обслуговування відповідатимуть вимогам щодо використання, уся зона ізоляції повинна бути очищена та дезактивована відповідно до встановлених процедур очищення. Усі поверхні, включаючи всі стіни, обладнання (нерухоме та рухоме) та підлогу, слід очистити пилососом, витерти та витерти шваброю, приділяючи особливу увагу прибиранню зон за огородженнями та під обладнанням.
4. Попереднє випробування продуктивності обладнання може бути проведене на основі фактичних умов чистої кімнати та встановленого обладнання, але наступне приймальне випробування повинно проводитися, коли умови чистого середовища будуть повністю дотримані. Залежно від умов на місці монтажу можна приступати до ретельного демонтажу ізоляційної стіни; якщо подача чистого повітря була вимкнена, перезапустіть її; час для цього етапу роботи слід ретельно підбирати, щоб мінімізувати перешкоди нормальній роботі чистої кімнати. У цей час може знадобитися виміряти, чи відповідає концентрація частинок у повітрі зазначеним вимогам.
5. Очищення та підготовку внутрішньої частини обладнання та ключових технологічних камер слід проводити в звичайних умовах чистого приміщення. Усі внутрішні камери та всі поверхні, які контактують із продуктом або задіяні в транспортуванні продукту, повинні бути витерті до необхідного рівня чистоти. Послідовність очищення обладнання повинна бути зверху вниз. Якщо частинки розповсюджуються, більші частинки впадуть на дно обладнання або на землю під дією сили тяжіння. Очистіть зовнішню поверхню обладнання зверху вниз. За необхідності виявлення поверхневих частинок слід проводити в областях, де вимоги до продукту або виробничого процесу є критичними.
6. З огляду на характеристики чистих приміщень, особливо велику площу, великі інвестиції, високу продуктивність і дуже суворі вимоги до чистоти високотехнологічних чистих приміщень, установка виробничого обладнання на цьому типі чистих фабрик більш схожа на звичайних чистих кімнат. З цією метою національний стандарт «Кодекс будівництва чистих фабрик і прийняття якості», опублікований у 2015 році, містив деякі положення щодо встановлення виробничого обладнання на чистих фабриках, в основному включаючи наступне.
①. Щоб запобігти забрудненню або навіть пошкодженню чистого приміщення, яке пройшло «порожнє» прийняття під час процесу встановлення виробничого технологічного обладнання, процес встановлення обладнання не повинен мати надмірної вібрації або нахилу, а також не повинен розділятися та забруднювати обладнання поверхні.
②. Для того, щоб установка виробничого технологічного обладнання в чистій кімнаті була впорядкованою та без або з меншою кількістю сидячих місць, а також щоб дотримуватися системи управління чистим виробництвом у чистій майстерні, переконайтеся, що процес встановлення виробничого обладнання захищений відповідно до різних " готова продукція» та «напівфабрикати», прийняті в «порожньому стані», матеріали, машини тощо, які повинні бути використані в процесі монтажу, не повинні виділяти або можуть виробляти (у тому числі при нормальній роботі чистого приміщення протягом тривалого часу). час) забруднюючі речовини, шкідливі для виробленої продукції. Слід використовувати чисті матеріали, які не містять пилу, іржі, жиру та не утворюють пил під час використання.
③. Поверхня оздоблення будівлі чистого приміщення повинна бути захищена чистими, незапиленими плитами, плівками та іншими матеріалами; опорна плита обладнання повинна бути виготовлена відповідно до вимог проекту або технічної документації обладнання. Якщо вимог немає, слід використовувати пластини з нержавіючої сталі або пластикові пластини. Профілі з вуглецевої сталі, які використовуються для окремих фундаментів і арматури підлоги, повинні бути оброблені антикорозійним засобом, а поверхня повинна бути рівною і гладкою; еластичні ущільнювальні матеріали, що використовуються для ущільнення.
④. На матеріалі повинні бути нанесені складові, сорти, дата виготовлення, термін зберігання, інструкція з виготовлення та сертифікати кваліфікації продукції. Машини та інструменти, що використовуються в чистих приміщеннях, не можна переносити в нечисті приміщення для використання. Машини та інструменти не можна переносити в чисте приміщення для використання. Машини та інструменти, що використовуються в чистій зоні, повинні забезпечити, щоб відкриті частини машини не виробляли пил, або вжити заходів для запобігання забрудненню пилом навколишнього середовища. Машини та інструменти, які зазвичай використовуються, слід очистити в шлюзі перед переміщенням у чисту зону. , має відповідати вимогам бути без масла, бруду, пилу та іржі, і його слід переміщувати після проходження перевірки та встановлення знака «Чисто» або «Тільки чиста зона».
⑤. Обладнання виробничого процесу в чистій кімнаті має бути встановлено на «спеціальних поверхах», таких як фальшпідлоги. Фундамент обладнання, як правило, встановлюється на нижньому технічному міжповерховому перекритті або на цементно-пористій плиті; роботи, які необхідно демонтувати для встановлення фундаменту Конструкція підлоги після різання ручною електропилкою повинна бути посилена, а її несуча здатність повинна бути не нижчою за вихідну несучу здатність. Якщо використовується окрема основа сталевої каркасної конструкції, вона повинна бути виготовлена з оцинкованого матеріалу або нержавіючої сталі, а відкрита поверхня повинна бути рівною та гладкою.
⑥. Якщо процес встановлення виробничого обладнання в чистому приміщенні вимагає відкриття отворів у стінових панелях, підвісних стелях і фальшпідлозі, операції свердління не повинні розділяти або забруднювати поверхні стінових панелей і панелей підвісної стелі, які необхідно зберегти. Після відкриття фальшпідлоги, коли фундамент не може бути встановлений вчасно, слід встановити захисні огорожі та знаки небезпеки; після того, як виробниче обладнання встановлено, зазор навколо отвору повинен бути загерметизований, а обладнання та ущільнювальні компоненти повинні бути в гнучкому контакті, а з’єднання між ущільнювальним компонентом і стіновою пластиною має бути щільним і міцним; ущільнювальна поверхня з одного боку робочої кімнати повинна бути рівною та гладкою.
Час публікації: 06 вересня 2023 р