1. Видалення частинок пилу в чистому приміщенні без пилу
Основна функція чистої кімнати полягає в контролі чистоти, температури та вологості атмосфери, до якої піддаються продукти (наприклад, кремнієві чіпси тощо), щоб продукція могла бути виготовлена та виготовлена в хорошому просторі середовища. Ми називаємо цей простір чистим приміщенням. Відповідно до міжнародної практики, рівень чистоти в основному визначається кількістю частинок на кубічний метр повітря діаметром, що перевищує стандарт класифікації. Іншими словами, так званий без пилу не 100% без пилу, а контролюється в дуже маленькій одиниці. Звичайно, частинки, які відповідають стандарту пилу в цьому стандарті, вже дуже малі порівняно із загальним пилом, який ми бачимо, але для оптичних структур навіть трохи пилу матиме дуже великий негативний вплив, тому без пилу є неминучою вимогою у виробництві продукції оптичної структури.
Контроль кількості частинок пилу з розміром частинок, що перевищує або дорівнює 0,5 мкм на кубічний метр до менше 3520/кубічний метр, досягне класу А міжнародного стандарту без пилу. Стандарт без пилу, що використовується у виробництві та обробці рівня мікросхем, має більш високі вимоги до пилу, ніж клас А, і такий високий стандарт в основному використовується у виробництві деяких мікросхем вищого рівня. Кількість пилових частинок суворо контролюється на 35 200 на кубічний метр, який зазвичай відомий як клас B в чистої кімнати.
2. Три види чистого приміщення стану
Порожня чиста кімната: чиста кімната, яка була побудована і може бути використана. Він має всі відповідні послуги та функції. Однак у закладі операторів не працює обладнання.
Статична чиста кімната: чиста кімната з повними функціями, належними налаштуваннями та установкою, яку можна використовувати відповідно до налаштувань або використовується, але операторів у закладі немає.
Динамічна чиста кімната: чиста кімната в звичайному використанні, з повними функціями обслуговування, обладнанням та персоналом; При необхідності можна виконати нормальну роботу.
3. Контрольні елементи
(1). Може видалити частинки пилу, що плавають у повітрі.
(2). Може запобігти генерації пилових частинок.
(3). Контроль температури та вологості.
(4). Регулювання тиску.
(5). Усунення шкідливих газів.
(6). Повітряна напруга конструкцій та відсіків.
(7). Профілактика статичної електроенергії.
(8). Профілактика електромагнітних перешкод.
(9). Розгляд факторів безпеки.
(10). Розгляд заощадження енергії.
4. Класифікація
Турбулентний тип потоку
Повітря потрапляє в чисту кімнату від кондиціонерної коробки через повітряний канал та повітряний фільтр (HEPA) в чистому приміщенні, і повертається з стінових панелей перегородки або піднесених підлог з обох боків чистої кімнати. Потік повітря не рухається лінійним чином, а представляє нерегулярний бурхливий або вихровий стан. Цей тип підходить для класу 1000-100 000 чистих приміщень.
Визначення: Чиста кімната, де повітряний потік протікає з нерівномірною швидкістю і не є паралельним у супроводі зворотного потоку або вихрового струму.
Принцип: Турбулентні чисті кімнати покладаються на повітряний потік повітря, щоб постійно розбавити повітря в приміщенні та поступово розбавити забруднене повітря для досягнення чистоти (турбулентні чисті приміщення, як правило, розробляються на рівні чистоти понад 1000 до 300 000).
Особливості: Бурхливі чисті кімнати покладаються на багаторазову вентиляцію для досягнення чистоти та чистоти. Кількість змін вентиляції визначає рівень очищення у визначенні (чим більше змін вентиляції, тим вище рівень чистоти)
(1) Час самозакохання: відноситься до часу, коли чиста кімната починає постачати повітря в чисту кімнату відповідно до розробленого номера вентиляції, а концентрація пилу в кімнаті досягає розробленого класу чистоти 1000, як очікується, більше не буде більше ніж 20 хвилин (15 хвилин може бути використаний для обчислення) класу 10 000, як очікується, не буде більше 30 хвилин (25 хвилин може бути використаний для обчислення) класу 100 000, як очікується, не буде більше 40 хвилин (30 хвилин можна використовувати для обчислення)
(2) Частота вентиляції (розроблена відповідно до вищезазначених вимог до самоочищення) Клас 1000: 43,5-55,3 рази/година (стандарт: 50 разів/година) Клас 10 000: 23,8-28,6 рази/година (стандарт: 25 разів/година ) Клас 100 000: 14,4-19,2 рази/година (стандарт: 15 разів/година)
Переваги: проста конструкція, низька вартість будівництва системи, проста для розширення чистого приміщення, в деяких місцях спеціальних цілей чиста лавка без пилу може бути використана для поліпшення чистого класу кімнати.
Недоліки: Частинки пилу, спричинені поплавком турбулентності в приміщенні в приміщенні, і їх важко звільнити, що може легко забруднити продукти процесу. Крім того, якщо система зупиняється, а потім активується, для досягнення необхідної чистоти часто потрібно тривалий час.
Ламінарний потік
Ламінарне потокове повітря рухається рівномірною прямим. Повітря потрапляє в кімнату через фільтр зі 100% швидкості покриття і повертається через підвищену підлогу або дошки розділу з обох боків. Цей тип підходить для використання в чистих приміщеннях з більш високими класами чистої кімнати, як правило, класом 1 ~ 100. Є два типи:
(1) Горизонтальний ламінарний потік: горизонтальне повітря вибухає з фільтра в одному напрямку і повертається системою зворотного повітря на протилежній стіні. Пил викидається на вулиці з повітряним напрямком. Як правило, забруднення є більш серйозним на нижній стороні.
Переваги: проста структура, може стати стабільною за короткий час після роботи.
Недоліки: Вартість будівництва вище турбулентного потоку, а приміщення в приміщенні нелегко розширити.
(2) Вертикальний ламінарний потік: Стеля кімнати повністю покрита фільтрами ULPA, а повітря підірве зверху вниз, що може досягти більш високої чистоти. Пил, що утворюється під час процесу або персоналу, можна швидко звільнити на відкритому повітрі, не впливаючи на інші робочі зони.
Переваги: Простий в управлінні стабільний стан може бути досягнутий протягом короткого часу після початку операції, і не легко впливати на робочий стан або оператори.
Недоліки: висока вартість будівництва, важко використовувати простір, стельові вішалки займають багато місця та клопітку для ремонту та заміни фільтрів.
Композитний тип
Композитний тип полягає у поєднанні або використанні турбулентного типу потоку та типу ламінарного потоку разом, що може забезпечити локальне надочне повітря.
(1) Очистіть тунель: Використовуйте фільтри HEPA або ULPA, щоб покрити 100% зони процесів або робочої зони, щоб підвищити рівень чистоти до вище класу 10, що може заощадити витрати на встановлення та експлуатацію.
Цей тип вимагає, щоб робоча зона оператора була виділена від технічного обслуговування продуктів та машин, щоб не впливати на роботу та якість під час технічного обслуговування машин.
Чисті тунелі мають ще дві переваги: А. Легко в гнучкому розширенні; B. Технічне обслуговування обладнання можна легко здійснити в зоні технічного обслуговування.
(2) Чиста трубка: оточуйте та очистіть автоматичну виробничу лінію, через яку проходить потік продукту, і збільшуйте рівень чистоти до вище класу 100. Оскільки продукт, оператор та середовище, що генерують пил, ізольовані один від одного, невелика кількість Постачання повітря може досягти хорошої чистоти, яка може заощадити енергію і найбільш підходить для автоматизованих виробничих ліній, які не потребують ручної праці. Він застосовується до фармацевтичної, харчової та напівпровідникової промисловості.
(3) чисте місце: рівень чистоти площі процесу в турбулентному чистому приміщенні з рівнем чистого приміщення в 10 000 ~ 100 000 збільшується до 10 ~ 1000 або вище для виробничих цілей; Чисті верстки, чисті навіси, збірні чисті кімнати та чисті шафи належать до цієї категорії.
Чиста лава: клас 1 ~ 100.
Чиста кабінка: невеликий простір, оточений антистатичною прозорою пластиковою тканиною в турбулентному просторі чистого приміщення, використовуючи незалежні блоки HEPA або ULPA та кондиціонер, щоб стати чистим простором вищого рівня, з рівнем 10 ~ 1000, висотою приблизно в висоті приблизно на висоту-це висота приблизно 2,5 метра та площа покриття близько 10 м2 або менше. Він має чотири стовпи і оснащений рухомими колесами для гнучкого використання.
5. Потік повітряного потоку
Важливість повітряного потоку
На чистоту чистого приміщення часто впливає повітряний потік. Іншими словами, рух та дифузія пилу, що генеруються людьми, машинними відсіками, будівельними конструкціями тощо керуються повітряним потоком.
У чистому приміщенні використовується HEPA та ULPA для фільтрування повітря, а його швидкість збору пилу до 99,97 ~ 99,99995%, тому повітря фільтрується цим фільтром, можна сказати, що дуже чистий. Однак, крім людей, є також джерела пилу, такі як машини в чистому приміщенні. Після того, як ці генеровані пил поширюються, неможливо підтримувати чистий простір, тому повітряний потік повинен використовуватися для швидкого скидання генерованого пилу на відкритому повітрі.
Вплив факторів
Існує багато факторів, які впливають на повітряний потік чистого приміщення, наприклад, технологічне обладнання, персонал, матеріали для складання чистих приміщень, освітлювальні світильники тощо. розгляд.
Точка диверсії повітряного потоку на поверхні загального операційного столу або виробничого обладнання повинна бути встановлена на 2/3 відстані між простором чистого приміщення та дошкою розділів. Таким чином, коли оператор працює, повітряний потік може протікати з внутрішньої частини зони процесу до робочої зони та забирати пил; Якщо точка диверсії буде налаштована перед областю процесу, вона стане неправильною диверсією повітряного потоку. У цей час більша частина повітряного потоку буде надходити до задньої частини процесу, а пил, спричинений операцією оператора, буде переноситься на задню частину обладнання, а робочий стіл буде забруднений, і врожай неминуче зменшиться.
Перешкоди, такі як робочі столи в чистих приміщеннях, матимуть вихрові течії на перехресті, а чистота біля них буде відносно бідною. Свердіння отвору зворотного повітря на робочій таблиці мінімізує явище вихрового струму; Чи є підбір матеріалів для складання та того, чи ідеальним макет обладнання є також важливими факторами для того, чи стане повітряний потік явищем вихрового струму.
6. Склад чистої кімнати
Склад чистого приміщення складається з наступних систем (жодна з яких не є необхідною в молекулах системи), інакше не вдасться сформувати повне і якісне чисте приміщення:
(1) Система стелі: включення стельового стрижня, I-променя або U-променя, стельової сітки або стельової рами.
(2) Система кондиціонування: включаючи повітряну кабіну, систему фільтрів, вітряк тощо.
(3) Партаційна стіна: включаючи вікна та двері.
(4) Підлога: включаючи піднесену підлогу або антистатичну підлогу.
(5) Світлові світильники: Плоска лампа для очищення світлодіодів.
Основна структура чистої кімнати, як правило, виготовлена зі сталевих брусків або кісткового цементу, але незалежно від того, яка це структура, вона повинна відповідати наступним умовам:
A. Жодних тріщин не відбудеться через зміни температури та вібрацій;
B. Виробляти частинки пилу непросто, і частинки важко прикріпити;
C. Низька гігроскопність;
D. Для того, щоб підтримувати умови вологості в чистому приміщенні, теплоізоляція повинна бути високою;
7. Класифікація за допомогою
Промисловий чистий номер
Контроль неживих частинок є об'єктом. В основному він контролює забруднення частинок повітряного пилу до робочого об'єкта, а внутрішні частини, як правило, підтримують стан позитивного тиску. Він підходить для точної промисловості машин, електроніки (напівпровідники, інтегровані схеми тощо), аерокосмічна промисловість, хімічна промисловість з високою чистотою, атомна енергетична промисловість, оптична та магнітна промисловість (CD, плівка, виробництво стрічки) РК (рідкий кристал скло), жорсткий диск, виробництво голови комп'ютера та інші галузі.
Біологічний чистий номер
В основному контролює забруднення живих частинок (бактерій) та неживих частинок (пилу) до робочого об'єкта. Його можна розділити на;
A. Загальна біологічна чиста кімната: в основному контролює забруднення мікробних (бактеріальних) предметів. У той же час, його внутрішні матеріали повинні мати можливість протистояти ерозії різних стерилізуючих агентів, а внутрішні частини, як правило, гарантують позитивний тиск. По суті, внутрішні матеріали повинні мати можливість витримувати різні стерилізаційні обробки промислового чистого приміщення. Приклади: фармацевтична промисловість, лікарні (операційні зали, стерильні підопічні), їжа, косметика, виробництво продуктів напоїв, лабораторії тварин, лабораторії з фізичних та хімічних тестування, кровоносці тощо
B. Чиста кімната з біологічної безпеки: в основному контролює забруднення живих частинок робочого об'єкта для зовнішнього світу та людей. Внутрішній тиск повинен підтримуватися негативним з атмосферою. Приклади: бактеріологія, біологія, чисті лабораторії, фізична інженерія (рекомбінантні гени, підготовка вакцини)
Час посади: лютий-07-2025